集成式机电致动器

摘要

本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造过程中通过蚀刻被除去的牺牲层的厚度。

主权项

一种集成式机电致动器(1)，包括：‑致动器电极，在所述致动器电极之间具有静电致动器间隙，‑接触电极，在所述接触电极之间具有电接触间隙，其中在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜，其中所述机电致动器(1)包括至少一个机电开关，其中在所述机电开关的已致动切换状态下，所述电接触间隙闭合，以及其中在所述机电开关的未致动切换状态下，所述电接触间隙未闭合，其中在所述机电开关的已致动切换状态下，固定到接触电极(4、5)的结构化接触梁(6、7)弯曲以响应由所述结构化接触梁(6、7)与致动器电极(2)之间的电场产生的静电力，其中所述结构化接触梁(6、7)包括：挠性部分(6A、7A)，其固定到所述接触电极(4、5)，以及刚性部分(6B、7B)，其连接到所述挠性部分并在其远端具有电接触表面(6C、7C)，所述电接触表面(6C、7C)通过所述电接触间隙而与另一接触电极(3)的电接触表面分隔开。