发明名称 |
致动器、光学反射元件及利用该光学反射元件的成像装置 |
摘要 |
光学反射元件(1)具备:框体(6);一端连接于所述框体的内侧的驱动部(5);连接于驱动部的另一端的可动部(4);设置于所述可动部的表面的反射部(2);和设置于所述可动部的电极。所述驱动部构成为通过驱动信号而被驱动来使所述可动部振动。所述电极构成为被输入比所述驱动信号高的频率的高频信号。该光学反射元件高速且以大偏转角被驱动,能够防止尘埃向所述可动部的附着。 |
申请公布号 |
CN104380173A |
申请公布日期 |
2015.02.25 |
申请号 |
CN201380031233.1 |
申请日期 |
2013.05.30 |
申请人 |
松下知识产权经营株式会社 |
发明人 |
森川显洋;平冈聪一郎;中园晋辅;小牧一树 |
分类号 |
G02B26/10(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/10(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
韩聪 |
主权项 |
一种致动器,具备:第一框体;第一驱动部,其一端连接于所述第一框体的内侧;可动部,其连接于所述第一驱动部的另一端;和第一电极,其设置于所述可动部,所述第一驱动部构成为通过驱动信号而被驱动且使所述可动部振动,所述第一电极构成为被输入比所述驱动信号高的频率的高频信号。 |
地址 |
日本国大阪府 |