| 发明名称 | 一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，它包括基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1），基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1）通过螺钉（8）固定在一起，基板（4）上开设有放置孔（10），导向块镶板（3）上开设有导向块镶嵌孔（11），导向块镶嵌孔（11）四壁上镶嵌有带有锥度的导向块（9），离子掩模块（3）上开设有离子掩模孔（7），基板（4）离子刻蚀位置开设有离子束通过孔（6）。本发明的有益效果是：它改善了SMD石英谐振器离子刻蚀的插入率，并且提高了产品的定位精度以及提高了产品生产良率。 | ||
| 申请公布号 | CN104378079A | 申请公布日期 | 2015.02.25 |
| 申请号 | CN201410616046.6 | 申请日期 | 2014.11.05 |
| 申请人 | 东晶锐康晶体（成都）有限公司 | 发明人 | 李东 |
| 分类号 | H03H3/02(2006.01)I | 主分类号 | H03H3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人 | 袁英 |
| 主权项 | 一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，其特征在于：它包括基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1），所述的基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1）通过螺钉（8）固定在一起，所述的基板（4）上开设有放置孔（10），所述的导向块镶板（3）上开设有导向块镶嵌孔（11），所述的导向块镶嵌孔（11）四壁上镶嵌有带有锥度的导向块（9），所述的离子掩模块（3）上开设有离子掩模孔（7），所述的基板（4）离子刻蚀位置开设有离子束通过孔（6），所述的放置孔（10）、导向块镶嵌孔（11）、离子掩模孔（7）和离子束通过孔（6）的中心处于同一轴线上。 | ||
| 地址 | 610041 四川省成都市高新区西部园区天映路101号 | ||