成像光学系统和投射曝光设备

摘要

一种用于将物场成像于像场的成像光学单元。所述成像光学单元具有遮挡的光瞳(21)。该光瞳(21)具有中心(Z)，中心场点的主光线通过该中心，所述成像光学单元还具有多个成像光学组件。所述成像光学单元的连续光瞳遮挡区域(18)的重心(SP)离心地位于所述成像光学单元的光瞳(21)中。根据另一方面，所述成像光学单元以反射方式实现，最后一个反射镜具有用于使成像光通过的通路开口。所述最后一个反射镜的反射表面的边缘区域连续地用于发射成像光，所述边缘区域环绕通路开口。成像光路中的倒数第二个反射镜实现为具有反射表面，其以闭合方式使用，即没有开口。所述通路开口布置为使得其产生光瞳遮挡区域(18)，光瞳遮挡区域未居中地地位于成像光学单元的光瞳(21)中。这种成像光学单元导致良好校正的可成像场，同时具有高成像光通量。

主权项

将物场(7)成像于像场(8)的成像光学单元(7；22；23)，‑其中，所述成像光学单元(7；22；23)具有遮挡的光瞳(21)，‑其中，所述光瞳(21)具有中心(Z)，中心场点的主光线(16)通过该中心，‑具有多个成像光学组件(M1至M6)，其特征在于，所述成像光学单元(7；22；23)的连续光瞳遮挡区域(18)的重心(SP)离心地位于所述成像光学单元(7；22；23)的光瞳(21)中。