弹性波装置

摘要

本发明提供特性良好且能抑制基于高阶模的响应的弹性波装置。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠传播的体波音速比在压电膜(5)中传播的弹性波音速更高速的高音速膜(3)，在高音速膜(3)上层叠传播的体波音速比在压电膜(5)中传播的体波音速更低速的低音速膜(4)，在低音速膜(4)上层叠上述压电膜(5)，在压电膜(5)的一方的面层叠IDT电极(6)，在高音速膜的上方的结构部分，作为所利用的弹性波的主模的能量集中度为99.9％以上，且成为杂散的高阶模的能量集中度为99.5％以下。

主权项

一种弹性波装置，具有压电膜，其特征在于，所述弹性波装置具备：支承基板；形成在所述支承基板上、传播的体波音速比在所述压电膜中传播的弹性波音速更高速的高音速膜；和形成在所述高音速膜上、传播的体波音速比在所述压电膜中传播的体波音速更低速的低音速膜；层叠在所述低音速膜上的所述压电膜；和形成在所述压电膜的一方的面上的IDT电极，在包含高音速膜、且比高音速膜更靠上方的结构部分中，作为所利用的弹性波的主模的能量集中度为99.9％以上，且成为杂散的高阶模的能量集中度为99.5％以下。