四烷基铵盐的制造方法及以其为原料的氢氧化四烷基铵的制造方法

摘要

当使用阳离子交换树脂以从显像废液等回收四烷基铵(TAA)离子之际，由于所得到的TAA盐中混入有金属离子，因而即便以此作为原料欲取得TAA氢氧化物时，只能获得金属不纯物含量较多的化合物。本发明的解决手段是使光阻显像废液等包含金属离子和TAA离子的溶液与阳离子交换树脂接触，而使TAA离子吸附，接着，当将酸通入该阳离子交换树脂内以回收TAA盐之际，于所得到的TAA盐溶液的pH达到规定值以下之前及/或电导率产生了规定幅度以上的变化之前停止回收，藉而可得到金属离子浓度较低的TAA盐溶液。而且，本发明是使像这样所得到的TAA盐与事先转成OH型的阴离子交换树脂接触，亦或是进行电解，藉而能够得到高纯度的TAAH溶液。

主权项

一种四烷基铵盐溶液的制造方法，该制造方法是利用含有金属离子及氢氧化四烷基铵的溶液以得到含有四烷基铵盐的溶液，其特征在于，包含：(1)使含有金属离子及氢氧化四烷基铵的溶液通入填充有氢离子型的阳离子交换树脂的吸附塔内，令该溶液中的四烷基铵离子吸附在阳离子交换树脂上的吸附工艺；以及(2)于所述吸附工艺中，使酸溶液通入填充有吸附着四烷基铵离子的阳离子交换树脂的吸附塔内，令吸附于该树脂的四烷基铵离子溶离成所述酸盐，并将从该吸附塔流出的流出液回收至储留槽的回收工艺；并且，于所述回收工艺中，测量来自吸附塔的流出液的pH及/或电导率，当该流出液的pH达到预定的pH之时点及/或电导率仅变化了预定的电导率的变化量之时点时，停止朝往所述储留槽的流出液的回收。