一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，其特征在于：所述翻转驱动装置由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，所述翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，所述卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；所述翻转驱动机构安装于所述真空镀膜机，所述翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，所述拨杆上套装有拨杆轴承，所述拨杆轴承的外轮廓尺寸与所述卡槽的槽口尺寸吻合适配，所述拨杆可伸出至所述拨杆轴承与所述卡槽滚动配合。本实用新型的优点是：通过机械驱动使翻转镀膜治具发生翻转，从而使镀膜基片翻面，实现在镀膜腔体不破真空的情况下的双面连续镀膜。

主权项

一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，用于承载有基片的翻转镀膜治具的翻面，所述翻转镀膜治具安装于真空镀膜机的腔体内，所述翻转镀膜治具安装在一镀膜伞架上，所述镀膜伞架由一中心回转轴驱动旋转，其特征在于：所述翻转驱动装置由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，所述翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，所述卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；所述翻转驱动机构安装于所述真空镀膜机，所述翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，所述拨杆上套装有拨杆轴承，所述拨杆轴承的外轮廓尺寸与所述卡槽的槽口尺寸吻合适配，所述拨杆可伸出至所述拨杆轴承与所述卡槽滚动配合。