| 摘要 |
<p>Un procedimiento para el revestimiento de sustratos mediante pulverización de material objetivo, que abarca las etapas siguientes: en una cámara de revestimiento, aplicar una carga sobre un primer objetivo de pulverización consistente en un primer material con una pulsación de potencia mediante la que durante un primer intervalo de tiempo se transfiere una primera cantidad de energía sobre el objetivo de pulverización, en donde la máxima densidad de potencia supera los 50 W/cm² y preferentemente 500 W/cm²; en la cámara de revestimiento, aplicar una carga sobre un segundo objetivo de pulverización consistente en un segundo material, distinto del primer material, mediante una pulsación de potencia, mediante la que durante un segundo intervalo de tiempo se transfiere una segunda cantidad de energía sobre el objetivo de pulverización, en donde la máxima densidad de la potencia supera los 50 W/cm² y preferentemente los 500 W/cm²; caracterizado porque la primera cantidad de energía es diferente de la segunda cantidad de energía.</p> |
