一种应用于紫外激光打标的F-theta光学镜头

摘要

本发明涉及一种应用于紫外激光打标的F-theta光学镜头，其包括沿光传播方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜；第一透镜为双凹型透镜；第二透镜为弯月型透镜，其曲面向着入射光方向弯曲；第三个透镜为双凸型透镜；第四个透镜为弯月型透镜，其曲面为背向入射光方向弯曲；在F-theta光学镜头中加入接近同心球的广角弯月型第二透镜实现对镜头加工范围的扩大；在系统焦距受到控制的条件下，加入另一块弯月型第四透镜将镜头光学系统主面沿着入射光方向外移以加长镜头后工作距离，减少打标产物污染镜头表面之几率；同时整个镜头中采用近远心结构以控制大视场像方主光线与像面之间的倾角，使加工微孔时倾斜问题得到改善。

主权项

一种应用于紫外激光打标的F‑theta光学镜头，其特征在于，其包括沿光传播方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜以及第四透镜；所述第一透镜为双凹型透镜；所述第二透镜为弯月型透镜，其曲面向着入射光方向弯曲；所述第三个透镜为双凸型透镜；所述第四个透镜为弯月型透镜，其曲面为背向入射光方向弯曲；并且，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜以及第四透镜的焦距分别与所述F‑theta光学镜头的系统焦距的比率满足以下要求：‑0.95<f₁/f_w<‑1.05，‑0.35<f₂/f_w<‑0.5，1<f₃/f_w<2.5，0.2<f₄/f_w<0.4，其中f₁、f₂、f₃、f₄分别为第一透镜、第二透镜、第三透镜以及第四透镜的焦距，f_w为所述F‑theta光学镜头的系统焦距。