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发明名称 Siliciumnitridbeschichtung an Quarzwaenden fuer Diffusions- und Oxydationsreaktoren
摘要
申请公布号 DE1957952(A1) 申请公布日期 1971.05.27
申请号 DE19691957952 申请日期 1969.11.18
申请人 SIEMENS AG 发明人 PAMMER,ERICH,DR.DIPL.-CHEM.;FOLKMANN,EDUARD,DIPL.-ING.
分类号 C03B20/00;C03C17/22;C23C16/04;C23C16/34;C23C16/36;C30B31/10;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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