发明名称 用于镍-磷涂覆的存储磁盘的包含混杂研磨剂的抛光组合物
摘要 本发明提供用于镍-磷涂覆的存储磁盘的包含混杂研磨剂的抛光组合物,更具体地说,本发明提供包含(a)研磨剂和(b)水的抛光组合物,所述研磨剂包含(i)具有0.8∶1-1.2∶1的平均纵横比的第一α氧化铝颗粒、(ii)具有大于1.2∶1的平均纵横比的第二α氧化铝、(iii)热解氧化铝颗粒和(iv)湿法二氧化硅颗粒。本发明还提供使用所述抛光组合物抛光基材、尤其是镍-磷基材的方法。
申请公布号 CN103627327B 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201310377657.5 申请日期 2013.08.27
申请人 嘉柏微电子材料股份公司 发明人 R.洛皮塔亚;S.帕拉尼萨米钦纳萨姆比;H.西里沃达尼
分类号 C09G1/02(2006.01)I;B24B29/00(2006.01)I;G11B5/84(2006.01)I 主分类号 C09G1/02(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 宋莉
主权项 抛光组合物,其包含:(a)研磨剂,其包含:(i)第一α氧化铝颗粒,其中所述第一α氧化铝颗粒具有0.8:1‑1.2:1的平均纵横比,(ii)第二α氧化铝颗粒,其中所述第二α氧化铝颗粒具有大于1.2:1的平均纵横比,(iii)热解氧化铝颗粒,(iv)湿法二氧化硅颗粒,以及(b)水。
地址 美国伊利诺伊州