发明名称 |
用于镍-磷涂覆的存储磁盘的包含混杂研磨剂的抛光组合物 |
摘要 |
本发明提供用于镍-磷涂覆的存储磁盘的包含混杂研磨剂的抛光组合物,更具体地说,本发明提供包含(a)研磨剂和(b)水的抛光组合物,所述研磨剂包含(i)具有0.8∶1-1.2∶1的平均纵横比的第一α氧化铝颗粒、(ii)具有大于1.2∶1的平均纵横比的第二α氧化铝、(iii)热解氧化铝颗粒和(iv)湿法二氧化硅颗粒。本发明还提供使用所述抛光组合物抛光基材、尤其是镍-磷基材的方法。 |
申请公布号 |
CN103627327B |
申请公布日期 |
2015.02.25 |
申请号 |
CN201310377657.5 |
申请日期 |
2013.08.27 |
申请人 |
嘉柏微电子材料股份公司 |
发明人 |
R.洛皮塔亚;S.帕拉尼萨米钦纳萨姆比;H.西里沃达尼 |
分类号 |
C09G1/02(2006.01)I;B24B29/00(2006.01)I;G11B5/84(2006.01)I |
主分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
宋莉 |
主权项 |
抛光组合物,其包含:(a)研磨剂,其包含:(i)第一α氧化铝颗粒,其中所述第一α氧化铝颗粒具有0.8:1‑1.2:1的平均纵横比,(ii)第二α氧化铝颗粒,其中所述第二α氧化铝颗粒具有大于1.2:1的平均纵横比,(iii)热解氧化铝颗粒,(iv)湿法二氧化硅颗粒,以及(b)水。 |
地址 |
美国伊利诺伊州 |