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发明名称
液体エーロゾル式パーティクル除去方法
摘要
<p>Particles are removed from a surface of a substrate by a method comprising causing liquid aerosol droplets comprising water and a tensioactive compound to contact the surface with sufficient force to remove particles from the surface.</p>
申请公布号
JP5676658(B2)
申请公布日期
2015.02.25
申请号
JP20130000819
申请日期
2013.01.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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