Bolometric detector having a compensation bolometer with reinforced thermalisation

摘要

Détecteur bolométrique comportant :
–ª un substrat ;
–ª des micro-ponts bolométriques de détection suspendus au-dessus du substrat et thermiquement isolés du substrat;
–ª des micro-ponts bolométriques de compensation suspendus au-dessus du substrat et thermalisés au substrat; et
–ª un circuit de lecture formé dans le substrat pour appliquer une polarisation aux micro-ponts de détection et au micro-ponts de compensation et pour former des différences entre des signaux produits par les micro-ponts de détection et des signaux produits par les micro-ponts de compensation sous l'effet de la polarisation appliquée, Chaque micro-pont de détection et chaque micro-pont de compensation comportent des clous d'ancrage (16) électriquement conducteurs connectés au circuit de lecture, une membrane (12) fixée aux clous d'ancrage (16) au-dessus du substrat et un élément thermométrique agencé dans la membrane (12). Le détecteur comporte en outre des éléments de court-circuit thermique (326) entre la membrane (12) de chaque micro-pont de compensation et le substrat. Les éléments de court-circuit thermique (326) sous chaque micro-pont de compensation comportent des motifs métalliques agencés sous l'élément bolométrique du micro-pont de compensation et au contact de la membrane (12) du micro-pont de compensation et du substrat.