蒸镀装置和蒸镀方法

摘要

蒸镀装置(50)的掩模(60)具有周期性的图案，仅一周期的图案的形成区域露出。掩模基材的与长边方向垂直的方向的长度比被成膜基板(200)的扫描方向的长度短。掩模(60)配设成掩模基材的长边方向与扫描方向垂直，并设置成能够通过卷出辊(91)和卷取辊(92)的旋转使露出区域在与扫描方向垂直的方向上移动。

主权项

一种蒸镀装置，其为使蒸镀颗粒通过在蒸镀掩模上形成的开口部蒸镀在被成膜基板上进行规定的图案的成膜的蒸镀装置，其特征在于，具备：保持所述被成膜基板的基板保持部件；用于在所述被成膜基板上形成规定的图案的掩模单元；和使所述掩模单元和基板保持部件中的至少一个相对移动进行扫描的移动单元，所述掩模单元具备：射出蒸镀颗粒的蒸镀源；蒸镀掩模，该蒸镀掩模在具有挠性的掩模基材的长边方向上周期性地形成有包括所述开口部的同一形状的图案，以与扫描方向垂直的方向为所述掩模基材的长边方向，所述蒸镀掩模与所述蒸镀源的相对位置固定，并且，所述蒸镀掩模的与所述掩模基材的长边方向垂直的方向的长度比所述被成膜基板的扫描方向的长度短；设置在所述蒸镀掩模的长边方向的一个端部，卷绕所述蒸镀掩模的卷出辊；设置在所述蒸镀掩模的长边方向的另一个端部，卷取所述蒸镀掩模的卷取辊；和至少一对掩模‑基板间距离调整部件，所述掩模‑基板间距离调整部件，通过使所述蒸镀掩模在与所述被成膜基板的基板面垂直的方向上移动，对所述至少一对掩模‑基板间距离调整部件间的蒸镀掩模与被成膜基板之间的距离进行调整，并且，所述蒸镀掩模设置成：形成有在所述掩模基材上形成的多个周期的图案中的一周期图案的区域，由所述掩模‑基板间距离调整部件，保持为与所述被成膜基板平行而露出，形成有剩余的图案的区域被卷绕在所述卷出辊和卷取辊上，通过使所述卷出辊和卷取辊旋转，能够使所述蒸镀掩模的露出的区域在与扫描方向的垂直方向上移动。