发明名称 | 固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法。一个实施方式的固体摄像装置具备第一受光部以及第一光波导路层。上述第一受光部形成于半导体基板的表面。第一光波导路层以与上述第一受光部的上方对应的方式形成,具有从其上面遍及到下面、宽度从其上面朝向下面变大那样的倒锥形状。 | ||
申请公布号 | CN104377213A | 申请公布日期 | 2015.02.25 |
申请号 | CN201410083639.0 | 申请日期 | 2014.03.07 |
申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 饭岛匡 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 夏斌 |
主权项 | 一种固体摄像装置,具备:第一受光部,形成于半导体基板的表面;以及第一光波导路层,以与所述第一受光部的上方对应的方式形成,具有从其上面遍及到下面、宽度从其上面朝向下面变大的倒锥形状。 | ||
地址 | 日本东京都 |