发明名称 固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法
摘要 本发明提供固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法。一个实施方式的固体摄像装置具备第一受光部以及第一光波导路层。上述第一受光部形成于半导体基板的表面。第一光波导路层以与上述第一受光部的上方对应的方式形成,具有从其上面遍及到下面、宽度从其上面朝向下面变大那样的倒锥形状。
申请公布号 CN104377213A 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201410083639.0 申请日期 2014.03.07
申请人 株式会社东芝 发明人 饭岛匡
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 夏斌
主权项 一种固体摄像装置,具备:第一受光部,形成于半导体基板的表面;以及第一光波导路层,以与所述第一受光部的上方对应的方式形成,具有从其上面遍及到下面、宽度从其上面朝向下面变大的倒锥形状。
地址 日本东京都