显影设备用清洗剂及其使用方法

摘要

本发明公开了一种显影设备用清洗剂，包括5～30重量份的主剂和3～15重量份的辅剂，所述的主剂为氨基磺酸、磺基水杨酸、柠檬酸、磷酸、乙醇酸中的一种或几种构成，所述的辅剂为草酸、氟化氢铵、顺丁烯二酸酐、聚乙烯磷酸中一种或几种构成。通过将上述重量比的主剂和辅剂混合构成的清洗剂配置成清洗液对显影设备的进行清洗，在保证对显影设备内结垢和结晶物有效清洗除去的同时，降低清洗时清洗液对显影设备的腐蚀速率，保护显影设备，延长显影设备的使用寿命。

主权项

一种显影设备用清洗剂，其是由以下原料组分构成：5～30重量份的主剂、3～15重量份的辅剂、2～5重量份的阻垢缓蚀剂和/或2～5重量份的酸洗缓蚀剂； 所述的主剂为氨基磺酸、磺基水杨酸、柠檬酸、磷酸、乙醇酸中的一种或几种构成，所述的辅剂为草酸、氟化氢铵、顺丁烯二酸酐、聚乙烯磷酸中一种或几种构成；所述的阻垢缓蚀剂为乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠、乙二胺四甲膦酸钠、氨基三甲叉膦酸中的一种或几种构成，所述的阻垢缓蚀剂为六次甲基四胺、聚氧乙烯环烷酸咪唑啉、十七烯基咪唑啉季胺盐中的一种或几种构成。