发明名称 显影液溶膜量检测方法
摘要 本发明提供了一种显影液溶膜量检测方法,包括:步骤1,配制显影液并使之呈碱性;步骤2,取预定量的干膜,将其溶解在步骤1中的显影液内并搅拌均匀,以使显影液溶膜量达到预定值;步骤3,从步骤2中搅拌均匀后的显影液中取预定体积的样液;步骤4,准备预定量的酸;步骤5,将步骤3中的样液与步骤4中的酸在量杯内混合;步骤6,经过预定时间,待量杯内的液位下降稳定后,使溶解在显影液中的干膜漂浮在显影液的液面上;步骤7,读出步骤6中漂浮的干膜所对应的刻度范围;步骤8,根据步骤7中读出的刻度范围与量杯内的液面高度的刻度范围的比值,计算得到显影液的溶膜量。本发明可避免盲目的换槽与加大溢流带来的不必要浪费。
申请公布号 CN104375393A 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201410645777.3 申请日期 2014.11.15
申请人 深圳市迅捷兴电路技术有限公司 发明人 马卓;陈强
分类号 G03F7/30(2006.01)I;G01N33/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/30(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种显影液溶膜量检测方法,其特征在于,包括:步骤1,配制显影液并使之呈碱性;步骤2,取预定量的干膜,将其溶解在步骤1中的显影液内并搅拌均匀,以使显影液溶膜量达到预定值;步骤3,从步骤2中搅拌均匀后的显影液中取预定体积的样液;步骤4,准备预定量的酸;步骤5,将所述步骤3中的样液与所述步骤4中的酸在量杯内混合;步骤6,经过预定时间,待量杯内的液位下降稳定后,使溶解在所述显影液中的干膜漂浮在显影液的液面上;步骤7,读出步骤6中漂浮的干膜所对应的刻度范围;步骤8,根据步骤7中读出的刻度范围与所述量杯内的液面高度的刻度范围的比值,计算得到所述显影液的溶膜量。
地址 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙四东宝工业区第H幢