| 主权项 |
一种含有两个反射镜的大数值孔径投影光学系统，其特征在于，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置透射组G1、透射组G2、透射组G3、透射组G4、透射组G6、透射组G7、透射组G8和反射组G5，其中透射组G1焦距为正，透射组G2焦距为正，透射组G3焦距为正，透射组G4焦距为正，透射组G6焦距为负，透射组G7焦距为正，透射组G8焦距为正，反射组G5焦距为负；透镜组G1的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[‑0.7,‑0.62]，透镜组G2的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[‑3.3；‑2.7]，透镜组G3的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[‑1.6,‑1.3]，透镜组G4的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[‑2.4,‑2.2]，透镜组G6的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[1.0,1.3]，透镜组G7的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[‑1.1,‑0.9]，透镜组G8的焦距和反射组G7的焦距的比值范围区间为[‑0.6,‑0.4]；透射组G1包括第一正透镜(1)、第二正透镜(2)、第三正透镜(3)、第四正透镜(4)；透射组G2包括第五正透镜(5)、第六正透镜(6)、第一负透镜(7)、第七正透镜(8)；透射组G3包括第八正透镜(9)；透射组G4包括第九正透镜(10)、第十正透镜(11)；反射组G5包括第一反射镜(12)、第二反射镜(13)，其中第一反射镜(12)焦距为正，第二反射镜焦距(13)为负，第一反射镜(12)的焦距和反射组G5的焦距比值范围区间为[0.5,0.65]，第二反射镜(13)的焦距和反射组G5的焦距比值范围区间为[‑0.5,‑0.4]；透射组G6包括第十一正透镜(14)、第二负透镜(15)、第十二正透镜(16)、第十三正透镜(17)；透射组G7包括第三负透镜(18)、第十四正透镜(19)、第十五正透镜(20)、第十六正透镜(21)、第十七正透镜(22)；透射组G8包括第十八正透镜(23)、第十九正透镜(24)、第二十正透镜(25)、第二十一正透镜(26)。 |
