化学研磨装置

摘要

本发明提供一种不使用夹具也能够对玻璃基板实施化学研磨处理的单片式化学研磨装置。化学研磨装置(10)至少具备第1研磨处理部(4)、第2研磨处理部(2)与洗涤部(70)。第1研磨处理部(4)构成为对沿着搬送通路被搬送的玻璃基板(100)使用第1处理液进行化学研磨处理。所述第2研磨处理部(2)构成为对沿着搬送通路被搬送的玻璃基板(100)使用与所述第1处理液不同的第2处理液进行化学研磨处理。洗涤部(70)构成为配置于搬送通路的第1研磨处理部(4)的下游侧且第2研磨处理部(2)的上游侧，洗涤附着于所述玻璃基板(100)的处理液。

主权项

一种化学研磨装置，其构成为对沿着搬送通路被连续搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理，其特征在于，至少具备:第1研磨处理部，所述第1研磨处理部构成为对沿着所述搬送通路被搬送的玻璃基板使用第1处理液进行化学研磨处理，第2研磨处理部，所述第2研磨处理部构成为对沿着所述搬送通路被搬送的玻璃基板使用与所述第1处理液不同的第2处理液进行化学研磨处理，洗涤部，所述洗涤部构成为被配置于所述搬送通路的所述第1研磨处理部的下游侧且所述第2研磨处理部的上游侧，洗涤附着于所述玻璃基板的处理液。