纳米粒子的流体捕集

摘要

本发明描述了一种用于制备纳米粒子的系统。所述系统可包括用于产生在气体中包含纳米粒子的纳米粒子气溶胶的反应器。所述系统还包括扩散泵，所述扩散泵具有配备入口和出口的腔室。所述腔室的入口与所述反应器的出口流体连通。所述扩散泵还包括与所述腔室流体连通用于支撑扩散泵流体的储集器和用于使所述储集器中的所述扩散泵流体汽化成蒸汽的加热器。此外，所述扩散泵具有与所述储集器流体连通的喷射组件，所述喷射组件具有喷嘴用于将所述汽化的扩散泵流体排放至所述腔室中。所述系统可还包括与所述腔室的所述出口流体连通的真空泵。还提供了制备纳米粒子的方法。

主权项

一种系统，所述系统包括：用于产生在气体中包含纳米粒子的纳米粒子气溶胶的反应器，其中所述反应器包括前体气体入口和出口；扩散泵，所述扩散泵包括：具有入口和出口的腔室，其中所述腔室的所述入口与所述反应器的所述出口流体连通；与所述腔室流体连通的储集器，所述储集器用于支撑扩散泵流体；加热器，所述加热器用于使所述储集器中的所述扩散泵流体汽化成蒸汽；和与所述储集器流体连通的喷射组件，所述喷射组件包括用于将所述汽化的扩散泵流体排放至所述腔室中的喷嘴；以及与所述腔室的所述出口流体连通的真空泵。