| 发明名称 | 纳米结构的引导组装方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法，包括以下步骤：在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料，所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段；诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构，形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段，能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性，在图案周期比聚合物相分离周期大90％的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构，从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中，使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时，无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构，并且无缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN104370274A | 申请公布日期 | 2015.02.25 |
| 申请号 | CN201410636657.7 | 申请日期 | 2014.11.10 |
| 申请人 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 发明人 | 季生象;刘亚栋;李晓;保罗·富兰克林·内利 |
| 分类号 | B82B3/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 赵青朵 |
| 主权项 | 一种纳米结构的引导组装方法，包括以下步骤：在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料，所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段；诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构，形成纳米结构的图形。 | ||
| 地址 | 130022 吉林省长春市人民大街5625号 | ||