发明名称 正性光敏材料
摘要 本发明涉及新颖的正性工作光敏组合物,其具有:至少一种光致产酸剂;至少一种酚醛清漆聚合物;至少一种具有聚合物主链的聚合物,所述聚合物包含下式的结构,其中R<sub>1</sub>-R<sub>5</sub>独立地为-H或-CH<sub>3</sub>,A为直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>亚烷基,B为C<sub>1</sub>-C<sub>12</sub>烷基或脂环族基团,D为连接基,该连接基可以是化学键、其中羰基碳键接至聚合物主链的羧酸酯基团、或其中羰基碳键接至聚合物主链的-COOCH<sub>2</sub>-基团,Ar为取代或未取代的芳族基团或杂芳族基团,E为直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>10</sub>亚烷基,G为酸可裂解基团。本发明进一步涉及使用该新型组合物以形成图像的方法。<img file="DDA0000625511710000011.GIF" wi="1606" he="376" />
申请公布号 CN104380198A 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201380029778.9 申请日期 2013.05.13
申请人 AZ电子材料卢森堡有限公司 发明人 刘卫宏;卢炳宏;陈春伟;S.迈耶;M·A·托克西;S·赖
分类号 G03F7/039(2006.01)I 主分类号 G03F7/039(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 宓霞
主权项 正性工作光敏组合物,包含:a)至少一种光致产酸剂;b)至少一种酚醛清漆聚合物;c)至少一种具有聚合物主链的聚合物,所述聚合物包含下式的结构:<img file="FDA0000625511690000011.GIF" wi="1740" he="413" />其中R<sub>1</sub>‑R<sub>5</sub>独立地为‑H、F或‑CH<sub>3</sub>,A为直链或支链C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>亚烷基,B为C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基或脂环族基团,D为连接基,该连接基可以是化学键、其中羰基碳键接至聚合物主链的羧酸酯基团或其中羰基碳键接至聚合物主链的‑COOCH<sub>2</sub>‑基团,Ar为取代或未取代的芳族基团或杂芳族基团,E为直链或支链C<sub>2</sub>‑C<sub>10</sub>亚烷基,G为酸可裂解基团,v为0摩尔%‑10摩尔%,w为0摩尔%‑20摩尔%,x为14摩尔%‑80摩尔%,y为0摩尔%‑40摩尔%且z为20摩尔%‑50摩尔%。
地址 卢森堡卢森堡