基板翻转装置以及基板处理装置

摘要

本发明的目的在于提供能够使多张基板一起适当地翻转的技术。为了达到该目的，基板翻转装置具有：支撑机构(70)，将多张基板(W)支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态；夹持翻转机构(80)，对被支撑机构(70)支撑的多张基板(W)分别进行夹持，并且使多张基板(W)一起翻转。在支撑机构(70)中，支撑基板(W)的支撑构件(74)一边在上下方向上观察时远离基板的中心，一边向下方移动，从支撑位置移动至待避位置。另一方面，在夹持翻转机构(80)中，夹持基板的夹持构件(83)通过夹持构件驱动部从远离位置移动至接近位置，在该接近位置被弹性构件朝向基板的侧面施加弹性力。

主权项

一种基板翻转装置，用于使基板翻转，其特征在于，具有：支撑机构，将多张基板支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态，夹持翻转机构，对所述支撑机构所支撑的多张所述基板分别进行夹持，并且使多张所述基板一起翻转；所述夹持翻转机构具有：一对夹持构件，从多张所述基板的每一张基板的两端缘部夹持所述基板，夹持构件驱动部，使一对所述夹持构件分别在接近位置与远离位置之间移动，所述接近位置指该夹持构件的一部分与基板的侧面接近或抵接的位置，所述远离位置指所述夹持构件与所述侧面相分离的位置，弹性构件，朝向所述基板的侧面对配置在所述接近位置的所述夹持构件施加弹性力；所述支撑机构具有：多个支撑构件，分别从多张所述基板的每一张基板的下表面侧支撑所述基板，支撑构件驱动部，使多个所述支撑构件分别在支撑位置与待避位置之间移动，所述支撑位置指该支撑构件的一部分与基板的下表面抵接的位置，所述待避位置指所述支撑构件与所述下表面相分离的位置；所述支撑构件驱动部使多个所述支撑构件分别一边在上下方向上观察时远离所述基板的中心，一边向下方移动，来使该支撑构件从所述支撑位置移动至所述待避位置。