一种扫描激光显微镜

摘要

本发明公开了一种扫描激光显微镜，包括恒温器、三维位移平台、光学系统和电学系统；在所述的恒温器内设有恒温源，所述的恒温源与氮流或氦流连通；在所述的恒温器内底座上设三维位移平台，光学系统的末端设在三维位移平台上，样品安装在恒温源上；电学系统通过设在恒温器上的电学接口为恒温器内提供工作所需的电学条件。该扫描激光显微镜，能够用于研究尺寸小、工作温度有一定要求的器件内部发生的热学和电学相关的物理现象，满足使用需求。将位移平台集成在恒温器内部，减少了设备的体积。通过恒温器上的各窗口，可在测量样品内存电学参量分布的同时，测量外部的电磁辐射，具有很好的实用性。

主权项

一种扫描激光显微镜，其特征在于：包括恒温器（1）、三维位移平台（2）、光学系统（3）和电学系统（4）；在所述的恒温器（1）内设有恒温源（6），所述的恒温源（6）与氮流或氦流（8）连通；在所述的恒温器（1）内底座（7）上设三维位移平台（2），光学系统（3）的末端设在三维位移平台（2）上，样品安装在恒温源（6）上；电学系统（4）通过设在恒温器（1）上的电学接口（9）为恒温器（1）内提供工作所需的电学条件。