| 摘要 |
Anordnung zur Herstellung von dreidimensionalen hybriden Strukturen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Beschichtungsköpfe in mindestens einer Achse beweglich zu einem Werkstück angeordnet werden, wobei mindestens ein erster Beschichtungskopf zur Herstellung von dicken Materialstrukturen mit Einzelschichtdicken > 1 µm dient und mindestens ein weiterer zweiter Beschichtungskopf zur Abscheidung von dünnen Schichten mit Einzelschichtdicken < 1 µm verwendet wird. |
