集成电路去耦电容器

摘要

提供用于集成电路的电源去耦电容器。该去耦电容器可以成簇分布在供电电路部件中。每个簇可以包括许多并行连接的单个电容器单元。每个电容器单元包括电容器和与该电容器串联的电阻器。该电容器可以是金属-绝缘体-金属(MIM)电容器。在每个单元中该电阻器可以在电容器由于电介质故障而产生短路时限制通过单个电容器的电流。

主权项

一种集成电路，包括：在所述集成电路上以多个并行簇分布的多个电源去耦电容器单元，其中所述多个并行簇的每个簇具有至少一千个电源去耦电容器单元，其中所述多个并行簇耦合在电源电压路径和接地电源路径之间，其中所述多个并行簇定位于所述集成电路上的不同区域中，并且其中每个电源去耦电容器单元还包括：电容器；以及电阻器，与所述电容器串联耦合，其中在所述多个并行簇的每个簇中的每个电源去耦电容器单元连接于在所述集成电路上的共用金属层中形成的交叉指的相应的第一集合和第二集合之间。