摘要 |
本発明のセラミックス回路基板は、アルミナ基板上に金属回路板が接合されたセラミックス回路基板において、前記アルミナ基板は、アルミナAl2O3を99.5質量%以上、および焼結前に配合された焼結助剤から生成された焼結助剤由来成分を0.5質量%未満含み、前記焼結助剤由来成分はナトリウムを含む無機酸化物であり、前記焼結助剤由来成分中のナトリウムは酸化ナトリウムNa2Oに換算した質量で前記アルミナ基板100質量%中に0.001〜0.1質量%含まれ、前記アルミナ基板は、ボイドの最大径が12μm以下であり、ボイド平均径が10μm以下であり、ビッカース硬度が1500以上である。 |