発光パネル、発光パネルの製造方法、および成膜システム

摘要

基板と、当該基板上に形成された発光機能層とを備えた発光パネル１０５であって、前記発光機能層は、複数の機能層が積層されてなり、複数の機能層には、第一および第二の機能層が含まれており、積層方向の一方から前記発光機能層を見たときに、積層方向に対して交差する方向に隣接または離間した二つの領域の一方を第一の発光領域ａ、他方を第二の発光領域ｂと称した場合、第一の発光領域ａにおける第一の機能層４ａの膜厚は、第二の発光領域ｂにおける第一の機能層４ｂの膜厚より薄く、かつ、第一の発光領域ａにおける第二の機能層５ａの膜厚は、第二の発光領域ｂにおける第二の機能層５ｂの膜厚より厚い。