摘要 |
<p>Al2O3相およびAl2O3相以外の酸化物結晶相が連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有する凝固体であるにも関わらず、その表面を効率的に平坦化できる、光変換用セラミック複合体の製造方法を提供する。Al2O3相とAl2O3以外の酸化物結晶相とが連続的にかつ三次元的に相互に絡み合った組織を有する凝固体の表面をドライエッチング加工することにより、前記凝固体の表面の前記Al2O3以外の酸化物結晶相が前記Al2O3相に対して凸形状となるように相間段差を形成する第1工程と、前記ドライエッチング加工後の凝固体をCMP加工またはMP加工することにより、前記相間段差を小さくする第2工程とを備える光変換用セラミック複合体の製造方法である。</p> |