| 摘要 |
<p>スムーズに安定的に動作するアクチュエータを提供する。アクチュエータ１は、駆動部材１３と、被駆動部材１４とを備えている。駆動部材１３は、一の方向ｚに沿って変位する。被駆動部材１４は、駆動部材１３と摩擦係合している。被駆動部材１４は、駆動部材１３に対して摺動変位可能に設けられている。駆動部材１３及び被駆動部材１４の一方の表面の上には、コーティング膜２０が形成されている。コーティング膜２０は、母材２１と粒子２２とを含む。母材２１は、駆動部材１３及び被駆動部材１４の他方よりも低い硬度を有する。粒子２２は、母材２１中に分散している。粒子２２は、母材２１と異なる硬度を有する。</p> |
