| 摘要 |
真空グリスを塗布せず組み立てられ、また、適切な面シールが行える真空ポンプを提供することを目的とする。ケーシングとベースとの間に、適切な反発力を有する程度のつぶししろで潰されるように構成されたＯリングが配設された公差及び熱変形吸収構造を設ける。なお、真空ポンプにおいて、高さ寸法公差が大きい固定翼（例えば、プレス成型加工による固定翼など）を用いる場合や、回転翼及び固定翼の段数が多い全段翼式である場合であって、上述した公差及び熱変形吸収構造に配設されるＯリングのつぶししろが、１段では、許容歪み（ひずみ）を越えてしまう場合は、配設するＯリングを多段にして１段あたりのＯリングのつぶししろを、Ｏリングに適切なシール性能を保てるつぶししろに構成する。また、この場合は、多段に配設されるＯリングとＯリングとの間にリング状のスペーサを設けて、当該Ｏリング同士のずれを防止する構成にする。 |
