| 摘要 |
<p>【課題】ポンプ内部の耐食性の悪化やポンプ構造の複雑化を招くことなく、回転する円筒部材とその外周を囲む固定部材との間に設けられる隙間を最小限に設定することができ、当該隙間の最小限化によるポンプ性能の向上を図るのに好適な真空ポンプとそのロータを提供する。【解決手段】真空ポンプＰ１のロータ６は、回転駆動される円形部材６０とその外周に接合した円筒部材６２とを備え、かつ、円筒部材６２とその外周を囲む固定部材１８との間にネジ溝ポンプ流路Ｓを形成する。円筒部材６２は、円形部材６０より熱膨張が小さい材料、又は、前記円形部材よりクリープ速度が低い材料、の少なくとも一方の特徴をもつ材料で形成される。円筒部材６２における接合部Ｊと固定部材１８との間に設けられる第１領域の隙間δ１より、円筒部材６２における非接合部Ｎと固定部材１８との間に設けられる第２領域の隙間δ２を小さく設定する。【選択図】図１</p> |
