| 摘要 |
<p>本発明は、ホール注入特性の溶解耐性を向上させるとともに、良好なホール注入効率を発揮させることにより、優れた発光特性を期待することのできる有機発光素子の製造方法を提供することを目的とする。基板１０の片面に、陽極２、ホール注入層４、バッファ層６Ａ、発光層６Ｂ、陰極８を順次積層して有機ＥＬ素子１を構成する。発光領域はバンク５で区画する。ホール注入層４は所定条件で成膜した酸素欠陥部分を含む酸化タングステン層であり、電子状態において、価電子帯で最も低い結合エネルギーよりも１．８〜３．６ｅＶ低い結合エネルギーの範囲内に占有準位を存在させる。成膜後に２００℃以上２３０℃以下の温度で１５分以上４５分以下、大気焼成して膜密度を増大させ、バンク形成工程時に用いるエッチング液や洗浄液等への溶解耐性を向上させる。</p> |
