| 摘要 |
<p>【課題】 特に、良好な封止性及び感度を得ることができるとともに、寄生容量を低く抑えることが可能な静電容量型圧力センサ及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 シリコンからなる可動電極１１及び固定電極１２と、両電極間を接合する絶縁層１３と、を有して構成される。可動電極１１は、変位可能な感圧ダイヤフラム１４と、固定電極１２と絶縁層１３を介して接合される周縁部１６と、を有する。可動電極１１は固定電極１２の外周側面１２ａよりも内側に形成されて、可動電極１１の周囲に固定電極１２の延出表面２０が広がっており、絶縁層１３は、周縁部１６と固定電極１２との間から延出表面２０の全域にかけて形成されている。【選択図】図２</p> |
