| 摘要 |
<p>Magnetträgeranordnung (100, 200, 300) zum Einsetzen in ein Rohrtarget (130) einer Magnetronanordnung, wobei die Magnetträgeranordnung (100, 200, 300) aufweist: ein zum Führen von Kühlmittel eingerichtetes Rohr (110) und ein sich entlang des Rohres (110) erstreckender und an dem Rohr (110) befestigter Magnetträger (120), an dessen dem Rohr (110) abgewandter Seite ein Magnetsystem (121) angeordnet ist, wobei zumindest das Rohr (110) von einem Schaumstoff aufweisenden Körper (101, 201, 201) umgeben ist, welcher eine zu der Innenumfangsfläche (131) des Rohrtargets (130) angepasste Außenumfangskontur (102, 202, 302) aufweist, wobei der Körper (101, 201, 301) an dem Rohr (110) und/oder an dem Magnetträger (120) befestigt ist.</p> |
