エッチング液及びそれを用いたエッチング方法

摘要

熱反応型レジスト材料として銅の酸化物を用いてレーザー光で露光した場合に、露光・未露光部を選択的にエッチングすることのできる酸化銅用のエッチング液、及びエッチング速度の制御、及びそれを用いたエッチング方法を提供すること。本発明のエッチング液は、価数の異なる酸化銅を含有する酸化銅含有層から特定の価数の酸化銅を選択的に除去するための酸化銅のエッチング液であって、少なくともアミノ酸とキレート剤と水とを含み、アミノ酸の重量割合がキレート剤より多く、かつそのｐＨが３．５以上であることを特徴とする。