| 摘要 |
<p>光源から供給される照明光を用いてレチクル面を照明する照明方法は、空間光変調器の複数のミラー要素に対して入射光の反射角を制御するための駆動信号を設定することと、複数のミラー要素を介した照明光でレチクル面を照明することと、インテグレータセンサを介して照明光の積算エネルギーをモニタすることと、積算エネルギーのモニタ結果に基づいて複数のミラー要素の駆動信号を補正することとを含む。入射する光の状態を制御可能な複数の光学要素を用いて被照射面を照明する場合に、光強度分布の変動を抑制できる。</p> |
