| 摘要 |
レーザ発振器（４）から出射されるレーザ光（Ｌ）をファイバ伝送する伝送ファイバ（２）と、伝送ファイバ（２）から送られてくるレーザ光（Ｌ）を加工対象物Ｗの主面に対して垂直方向に照射するとともに、加工対象物（Ｗ）によってレーザ光（Ｌ）と同軸方向に反射された反射光（Ｒｅ）を伝送ファイバ（２）に送る加工ヘッド（３）と、伝送ファイバ（２）から送られてくる反射光（Ｒｅ）の反射光量を検出する反射光モニタ部（１０）と、レーザ発振器（４）および加工ヘッド（３）を制御する制御装置（１）と、を備え、制御装置（１）は、加工対象物（Ｗ）がレーザ加工の加工条件に応じたものであるか否かを、反射光量に基づいて、レーザ加工の開始時に判定する判定部を有している。 |
