发明名称 |
表示装置、表示装置に用いられる薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタの製造方法 |
摘要 |
<p>表示素子とこの表示素子の発光を制御する薄膜トランジスタとを備えた表示装置であって、薄膜トランジスタは、絶縁性の支持基板上に形成されたゲート電極と、ゲート電極を覆うように基板上に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に形成されたチャネル層と、チャネル層の上面に形成されたチャネル保護層と、チャネル保護層の上面に形成されかつチャネル層に接続される一対のコンタクト層と、一対のコンタクト層に接続されたソース電極及びドレイン電極とを備え、一対のコンタクト層はチャネル層の側面において接する界面を有する。</p> |
申请公布号 |
JPWO2013008360(A1) |
申请公布日期 |
2015.02.23 |
申请号 |
JP20120544986 |
申请日期 |
2012.03.08 |
申请人 |
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发明人 |
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分类号 |
H01L29/786;H01L21/336;H01L51/50;H05B33/08 |
主分类号 |
H01L29/786 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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