摘要 |
本発明により、歩留まりに優れた半導体装置が提供される。本発明の半導体装置(10)は、基材(ダイパット)(2)と、半導体素子(3)と、基材および半導体素子(3)の間に介在し、両者を接着する接着層(1)と、を備える。接着層(1)中に熱伝導性フィラー(8)を含有している。この半導体装置(10)は、接着層(1)中に熱伝導性フィラー(8)が分散しており、接着層(1)全体中の熱伝導性フィラー(8)の含有率をCとし、接着層(1)の半導体素子(3)側の界面から深さ2μmまでにわたる領域1における熱伝導性フィラー(8)の含有率をC1とし、接着層1の基材(ダイパット)(2)側の界面から深さ2μmまでにわたる領域2における熱伝導性フィラー(8)の含有率をC2としたとき、C1<C、かつ、C2<Cを満たすように特定されている。 |