发明名称 半導体装置
摘要 本発明により、歩留まりに優れた半導体装置が提供される。本発明の半導体装置(10)は、基材(ダイパット)(2)と、半導体素子(3)と、基材および半導体素子(3)の間に介在し、両者を接着する接着層(1)と、を備える。接着層(1)中に熱伝導性フィラー(8)を含有している。この半導体装置(10)は、接着層(1)中に熱伝導性フィラー(8)が分散しており、接着層(1)全体中の熱伝導性フィラー(8)の含有率をCとし、接着層(1)の半導体素子(3)側の界面から深さ2μmまでにわたる領域1における熱伝導性フィラー(8)の含有率をC1とし、接着層1の基材(ダイパット)(2)側の界面から深さ2μmまでにわたる領域2における熱伝導性フィラー(8)の含有率をC2としたとき、C1<C、かつ、C2<Cを満たすように特定されている。
申请公布号 JPWO2012165273(A1) 申请公布日期 2015.02.23
申请号 JP20130518007 申请日期 2012.05.24
申请人 住友ベークライト株式会社 发明人 下邊 安雄;村山 竜一;三戸手 啓二
分类号 H01L21/52;H01L25/07;H01L25/18 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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