| 摘要 |
ＨＤＤ用ガラス基板の製造方法において、洗浄工程で、ガラス基板を洗浄キャリアに安定に保持したまま、洗浄槽内の洗浄液の置換率を増大する。ガラス基板を洗浄キャリア２０に収容し、洗浄キャリア２０を洗浄槽に入れて、洗浄槽内で洗浄液を流すことにより、ガラス基板を洗浄する洗浄工程を含むＨＤＤ用ガラス基板の製造方法において、洗浄工程では、洗浄キャリア２０に収容されたガラス基板の側方に相対向する一対の側壁２４を有する洗浄キャリア２０を用い、洗浄キャリア２０の側壁２４に開口２９を設け、洗浄槽内で洗浄液を洗浄キャリア２０の側壁２４を通過する方向に流し、洗浄槽を通過する洗浄液の流量を２０〜７０Ｌ／分とする。 |
