摘要 |
本発明は、簡便かつ高効率に多孔質中空糸膜の欠陥を検査できる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。本発明の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置は、液体が収容された容器と、多孔質中空糸膜を連続的に通過させる中空糸膜走行流路が内部に形成され、かつ前記液体中に配置されて流路内が前記液体で満たされる流路部材と、前記流路部材の前記中空糸膜走行流路内の液体中を通過するように、前記多孔質中空糸膜の走行を規制する規制手段と、前記中空糸膜走行流路内の前記液体を流動させ、前記中空糸膜走行流路内の液体の圧力を低下させる液体吸引手段と、前記多孔質中空糸膜の欠陥から液体中に流出された気泡を検出する気泡検出手段と、を有する。また、前記欠陥検査装置を用いた多孔質中空糸膜の欠陥検査方法。 |