摘要 |
<p>微細化しても十分なオン電流を確保できるとともに、漏れ電流を小さくするために高いオン/オフ電流比を持つ双方向型の電流制御素子と高速動作が可能なバイポーラ型の抵抗変化素子とを備えた不揮発性半導体記憶素子を提供する。その不揮発性半導体記憶素子は、第1電極(102)と抵抗変化層(103)と第2電極(104)とで構成され、第1電極(102)と第2電極(104)との間に印加される電気パルスの極性に応じて抵抗値が変化する抵抗変化素子(121)と、抵抗変化素子(121)と電気的に接続され、双方向に電流を流す非線形の電流・電圧特性を有する電流制御素子(122)とを備え、電流制御素子(122)は、第1電流制御素子電極(106)と、第1の半導体層(107)と、第2電流制御素子電極(108)とがこの順で積層された構成を有するとともに、第1電流制御素子電極(106)、第1の半導体層(107)および第2電流制御素子電極(108)の側面を覆う第2の半導体層(109)を有する。</p> |