積層膜付きガラス基板の製造方法

摘要

ＣＶＤ法により徐冷炉内に設けられた複数のインジェクターでガラスリボン上に積層膜を形成する積層膜付きガラス基板の製造方法であって、積層膜はＴｇ＋５０℃以下で形成され、各インジェクターにおいて、該インジェクターとガラスリボンとの交換熱量をＱ１（ｋＷ）、該インジェクターと対となるヒーターとガラスリボンとの交換熱量をＱ２（ｋＷ）、ガラスの流量をＰ（ｔｏｎ／ｄａｙ）とすると、｜Ｑ１｜−Ｐ?０．１１６≦̸｜Ｑ２｜≦̸｜Ｑ１｜の関係式が成り立つ。