| 摘要 |
<p>保管装置（２）は、複数段（９，４１）を備え、かつ前記段（９，４１）毎に容器（１０，５４）の保管スペース（８，４０）を複数備え、鉛直軸（１２）回りに回転する回転棚（４，６）と、前記容器（１０，５４）のロードポート（３４）と、前記ロードポート（３４）と前記保管スペース（８，４０）間で前記容器（１０，５４）を搬送する搬送装置（２８，２９）と、前記保管スペース（８，４０）毎にオン／オフ自在にクリーンガスを供給すると共に、前記容器（１０，５４）に設けられた吸気口（５５）に接続自在な配管（５８，６３）、とを備えている。</p> |
