照明光学系、露光装置、デバイス製造方法、および偏光ユニット

摘要

光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布の形状および偏光状態の変更に関して高い自由度を有する照明光学系。光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、照明光学系の照明瞳に光強度分布を可変的に形成する空間光変調器と、空間光変調器よりも被照射面側の光路中において所定面と光学的に共役な位置に配置されて、入射光束のうちの一部の光束の偏光状態を変化させて射出する偏光ユニットとを備えている。