发明名称 | 半导体检测系统的使用者介面的显示方法 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI473972 | 申请公布日期 | 2015.02.21 |
申请号 | TW101115972 | 申请日期 | 2012.05.04 |
申请人 | 旺矽科技股份有限公司 | 发明人 | 周明澔;杨上毅;吴佳兴 |
分类号 | G01D13/00;H01L21/66 | 主分类号 | G01D13/00 |
代理机构 | 代理人 | 陈思源 台北市中正区八德路1段23号8楼 | |
主权项 | 一种于一半导体检测系统的一使用者介面的显示方法,包括:选择一检测功能;将该检测功能所需的复数个临界条件,根据该复数个临界条件于该半导体检测系统所使用的一演算法中所使用的顺序或该复数个临界条件的属性,分类为一初步筛选群组与一进阶筛选群组;以及于该使用者介面显示该初步筛选群组与该进阶筛选群组并以一图像告知一使用者该初步筛选群组、该进阶筛选群组与该检测功能是有关的;其中当一待测晶粒未通过该初步筛选群组时,表示该待测晶粒未通过该初步筛选群组所包括的一临界条件;当该待测晶粒未通过该进阶筛选群组时,表示该待测晶粒未通过该进阶筛选群组所包括的一临界条件;当该待测晶粒通过该初步筛选群组时,该半导体检测系统判断该待测晶粒通过该检测功能;当该待测晶粒未通过该初步筛选群组时,表示该待测晶粒有瑕疵而该半导体检测系统需继续以该进阶筛选群组对该待测晶粒进行检测以判断该待测晶粒的瑕疵是否在可接受范围内;当该待测晶粒通过该进阶筛选群组时,表示该待测晶粒的瑕疵是在可接受范围内。 | ||
地址 | 新竹县竹北市中和街155号1至3楼 |