液体处理装置、液体处理方法及记忆媒体

主权项

一种液体处理装置，其从喷嘴对由基板保持部保持水平的基板供给处理液以进行处理，包含：旋转机构，其使该基板保持部绕垂直轴旋转；杯状部，其包围该基板保持部所保持的基板；抽吸排气部，其从该杯状部的下方侧对该杯状部内的蒙气进行抽吸排气；以及水气捕捉液的供给口，其沿着该杯状部的周向设置，用以在令该基板旋转而将处理液从该基板甩出时，从与该基板相同高度或比其更高的位置对该杯状部的内周围面供给用来捕捉该处理液水气的水气捕捉液；且该水气捕捉液的供给口设置成水气捕捉液的喷吐方向与基板的旋转方向相同。