图案评估装置及图案评估方法

主权项

一种电路图案评估方法，其包含：指定距离容许值之距离容许值指定步骤，该距离容许值为拍摄评估图案而得之复数个图像中所含之、邻接之第一图像与第二图像之间之距离之容许值；决定拍摄区域之拍摄区域决定步骤，该拍摄区域至少包含该评估图案之一部分，且邻接之图像彼此满足上述距离容许值指定步骤中指定之距离容许值；及在上述拍摄区域决定步骤中决定之拍摄区域中拍摄该评估图案，取得复数个图像之拍摄步骤。