发明名称 EPI制程以新式应用低压架构用于双向高压ESD防护之双载子电晶体
摘要
申请公布号 TWI474482 申请公布日期 2015.02.21
申请号 TW101142564 申请日期 2012.11.15
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 陈信良;杜硕伦
分类号 H01L29/73;H01L23/60 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人 蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项 一种双向双载子电晶体(BJT),包括:一p型基底;一N+掺杂埋层,其被沈积为邻接于该基板;一第一P型阱区,其被沈积为邻接于该N+掺杂埋层;一第二P型阱区,其被沈积为相邻于该N+掺杂埋层;以及一N型阱区域,其相邻于该N+掺杂埋层且围绕该第一与第二P型阱区,使得该N型阱区域的至少一部分是介于该第一与第二P型阱区之间;其中该第一与第二P型阱中的每一个都包括至少一N+掺杂板与至少一P+掺杂的板。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行路16号